活性炭吸附+等离子一体化处理系统对VOCs的净化效率和去除率受到众多因素的影响，包括系统自身因素，例如吸附剂和催化剂的选择、等离子体的产生方式、电源电压和放电功率等，以及一些外在因素，如处理时间、处理气体组成和进气方式、待处理污染物性质等。以下对几个主要因素进行分析和讨论。

1 吸附剂的选择

吸附剂在高效能的吸附处理过程和后续的等离子体处理中起到至关重要的作用。因此，需要选择合适的吸附剂种类和结构。吸附剂在工业上用途广泛，性能差异大。与其他吸附剂比较，活性炭具有较大的比表面积和极其发达的微孔。然而目前我国生产的活性炭存在诸多问题，包括质量差、寿命短、再生率低等，在有机废气的处理中并非最优吸附剂。蜂巢状吸附板和沸石转盘，也是由不同含量和成分的黏合剂与沸石组成。其优势在于蜂巢状催化剂的开放面积相对较大，压力降远低于传统填充颗粒催化，更适用于高通量空气的处理。而且许多研究表明蜂巢状吸附剂的吸附速率要高于其他吸附剂，可再生性能更优。蜂巢板吸附剂在低浓度、高流速的VOCs方面具有独特的优势，当活性炭吸附+等离子一体化净化系统存在嵌有沸石的蜂巢板吸附剂时，VOCs的去除率和处理效率得到显著提升。

2 处理气体的种类

处理气体的流向、种类和流速对VOCs的降解效率也会产生较大的影响。以空气和氮气为等离子体解吸的背景气体，在顺流和逆流的条件下对吸附剂富集的甲苯进行10min的等离子体进行处理。当空气逆流时，吸附甲苯浓度最大值约为顺流情况下的7.8倍。在氮气情况下，逆流吸附甲苯浓度约为顺流的2倍。并且逆流中达到解吸峰值的时间只是顺流时间的1/2。这说明甲苯在空气中较氮气更容易解吸，逆流效果比顺流效果更佳。

3 放电处理时间

吸附-等离子体净化系统的处理时间分为两部分：吸附时间和脱附再生时间。吸附时间通常与废气性质和吸附材料有关，以吸附临界饱和值为标准。最初随着时间的增加，吸附剂能够吸附大部分VOCs，当接近吸附饱和时，去除效果持续下降，最终丧失吸附能力。

4 污染物种类和浓度

VOCs可分为两种：一种是高转化率VOCs，包括乙醇、异丙醇（IPA）、丙二醇甲醚（PGME）、丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）等；另一种是低转换率VOCs，包括丙酮、甲苯、间二甲苯、十氢化萘等。值得注意的是高转化率的VOCs分子通常含有C—O键。由于不同VOCs中的碳原子数目不同，所以通常用碳当量VOCs浓度表示VOCs的去除效率，这一值一般随VOCs浓度的增加而减小。